英福康皮拉尼真空计采用皮拉尼原理工作。皮拉尼真空计通过利用热导率随气体密度变化的特性,结合热电效应来测量气体的压力。具体来说,皮拉尼真空计由一根加热的金属丝(热丝)和一对温度传感器组成。在正常工作条件下,热丝会被加热并保持一定的温度。周围的气体会根据其分子密度,影响热丝的热传导效率。气体分子越多,热传导越快,热丝的温度会相对较低。反之,真空度越高,气体分子越少,热传导效率降低,热丝温度升高。

1.广泛的压力测量范围
通常具有较宽的压力测量范围,能够应对从低真空到中真空的各种应用。它们通常能够准确地测量大约从10镑-3托到10镑-9托的压力范围,适用于不同的工业和科研环境。
2.响应速度快
由于皮拉尼真空计的原理是基于热传导效应,因此它们能够在瞬间对真空度的变化做出反应。这种高响应速度非常适合需要实时监控真空度的应用,如真空镀膜、物理实验以及精密加工等领域。
3.高灵敏度
具有很高的灵敏度,能够检测到微小的压力变化。这使得它们在实验室和工业应用中尤其有价值,能够精确地控制气体环境,从而确保工艺和实验的稳定性和可靠性。
4.耐用与稳定
采用了优质材料,能够在各种特殊工作环境下稳定运行。无论是在极低温度、高温度,还是在具有腐蚀性气体或强磁场的环境中,都表现出色。其长时间的稳定性和耐用性使其成为工业生产线和科研实验室中的理想选择。
5.简便的操作与维护
操作简单,通常配备数字显示界面或模拟显示,方便用户直接读取数据。它们还配有自动校准功能,减少了人工干预的需要。此外,由于其设计合理且维护简便,用户可以轻松进行保养和检查,降低了设备的维护成本。
英福康皮拉尼真空计的应用领域:
1.半导体制造
在半导体制造过程中,控制真空环境是非常重要的。能够精确地测量低真空环境,确保各种制造工艺的准确性,如薄膜沉积、刻蚀和离子注入等。此外,由于其高灵敏度和稳定性,它能够实时监控真空环境,确保生产过程中的任何压力波动都能被及时发现并解决。
2.真空镀膜与涂层
在真空镀膜过程中,真空度的精确控制直接影响到膜层的质量和性能。能够提供精确的压力读数,确保镀膜过程中真空环境的一致性。无论是在磁控溅射、蒸发镀膜还是化学气相沉积(颁痴顿)过程中,皮拉尼真空计都可以发挥至关重要的作用。
3.实验室与科研
许多科学实验需要在严格控制的真空环境下进行。能够提供可靠的真空度监测,广泛应用于物理学、化学、材料科学等领域的研究。例如,在质谱分析、气体动力学实验以及电子束蒸发等实验中,常常作为必要的工具。
4.医疗设备
一些医疗设备,如真空吸引系统和高压灭菌器,也依赖于精确的真空控制。能够在这些设备中提供准确的压力测量,确保设备正常运行并达到预定的效果。
5.航天与航空
航天器和飞机制造过程中的真空环境需要高的控制精度,在这一领域的应用也非常重要。它们能够帮助监测和控制真空度,确保航天器组件的可靠性和性能。
6.食品包装与加工
食品行业中的真空包装与加工过程对真空环境要求较高。皮拉尼真空计能够精确地检测真空度,确保食品包装过程中无空气残留,从而延长食品保鲜期并保持其质量。